基于SPC系统的外延设备精细化管理
作者：冯永平 任凯 宋占洋
单位：南京国盛电子有限公司
将SPC系统运用到外延设备管理过程,通过SPC系统中的管理工具,做到系统在线监测和在线判异,提升机台的标准化程度,保障产品的一致性。利用评判体系,优化设备参数,达到精细化管理的水平,提升机台的可靠性和稳定性
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：117-119
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